1. 节能环保的设计 - 空间小，重量轻，功耗节约50%

2. 高效的自动功能– 新设计的自动对中功能、提高检测效率 (自动调试时间缩短1/3)、自动拍照功能、自动报告生成功能

3. 简捷的操作界面– 全新的导航系统“SEM MAP”、入门向导功能、探针电流显示功能、维护视频演示功能、简单易懂的操作画面。

4. 5轴优中心样品台（3轴马达）- 大景深样品观察（通过改变Z轴高度既可以在大工作距离下获得大视野大景深的图片，又可以在小的工作距离下获得高赔率图片,倾斜样品观察（角度是-15°到90°，通过倾斜样品可以观察凸起样品的侧面细节）

5. 高分辨低真空观察 - 低真空模式可以对不导电样品直接观察，减少样品荷电。对于含水样品可以减缓水分挥发速度，保留样品原始形貌

6. 高灵敏度可变压力探测器 - UVD 2.0可以在高真空下使用，直接接收光信号，可检测阴极荧光