X射线荧光测厚仪（FT160）

FT160主要特点：

1. 高强度X射线 – 仪器的核心所在是全新的毛细管聚焦光学系统，其具备的30um光束适合于测量微小的半岛体图案和超小型元件。

2. 最优分辨率硅漂移探测器 – 这一高性能装置使计数率加倍，确保实施可重复测量以提高生产力。

3. 大型样品室门 – 便于操作员装载和卸载样品，此外，FT160还具有宽敞的样品室，以容纳各种形状的样品，封闭式样品室也最大限度提高安全性

4. 高清相机 – 样品观察相机的分辨率得到提高 – 且具有16倍数字变焦功能 – 使半导体表面清晰准确，从而最大限度地减少失真和重复测试

5. 全新控制器软件 – 只需在屏幕上确定最佳测量点，然后运行分析

6. 可确定从铝（11）到铀（92）等多种金属的镀层厚度

FT160技术参数：